விளக்கம்

விசாரணையை அனுப்பவும்

துல்லியம்-எந்திர கிராஃபைட் பிளேட் என்பது கடுமையான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை, மென்மையான மேற்பரப்பு பூச்சு மற்றும் சிக்கலான வடிவியல் வடிவங்களுடன், அதிக துல்லியமான எந்திரத்தின் மூலம் உருவாக்கப்பட்ட கிராஃபைட் தயாரிப்பு ஆகும். இது துல்லியமான இயந்திர தொழில்நுட்பத்துடன் கிராஃபைட்டின் சிறந்த பண்புகளை ஒருங்கிணைக்கிறது, மேலும் உயர் துல்லியமான தொழில்துறை துறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

முக்கிய பயன்பாட்டு பகுதிகள்

1. செமிகண்டக்டர்/பிவி தொழில்

செதில் உற்பத்தி: மின்னியல் உறிஞ்சும் கோப்பை, பரவல் உலை கூறுகள், CVD சுமந்து செல்லும் தட்டு.
ஒளிமின்னழுத்த செல்கள்: PECVD கிராஃபைட் படகு, சிலிக்கான் வேஃபர் சின்டரிங் மோல்டு.
LED epitaxy: MOCVD கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு.

2. எலக்ட்ரான் கற்றை செயலாக்கம் -- மின்முனை பொருள்: உயர் தூய்மை கிராஃபைட், துல்லியமான அச்சு செயலாக்கத்திற்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது.

3. தொழில்துறை உலை/உயர் வெப்பநிலை உபகரணங்கள் -- ஒற்றை படிக உலை வெப்ப புல கூறுகள், வெற்றிட சின்டரிங் உலைக்கான கிராஃபைட் பொருத்துதல், வழிகாட்டி ரயில்.

4. எரிபொருள் செல்/புதிய ஆற்றல் -- எரிபொருள் செல் பைபோலார் பிளேட், லித்தியம் அனோட் பொருள் சின்டெரிங் மோல்டு.

5. துல்லியமான கருவிகள்/ஆராய்ச்சி -- ஆப்டிகல் பூச்சுக்கான கிராஃபைட் கவசம், எக்ஸ்ரே டிஃப்ராக்டோமீட்டர் மாதிரி இயங்குதளம், விண்வெளி தர உயர் வெப்பநிலையை எதிர்க்கும் கட்டமைப்பு பாகங்கள்.

தொழில்நுட்ப அளவுருக்கள்

அளவுரு வகை	குறிப்பிட்ட அளவுரு (அலகு)	வழக்கமான வரம்பு
முக்கிய பொருள்	கார்பன் தூய்மை (%)	99.92–99.97 (தொழில்துறை தரம்); 99.99 (செமிகண்டக்டர் கிரேடு) ஐ விட பெரியது அல்லது அதற்கு சமம்
	அடர்த்தி (g/cm³)	1.82–1.94
	சாம்பல் உள்ளடக்கம் (பிபிஎம்)	200க்குக் குறைவாகவோ அல்லது சமமாகவோ (தொழில்துறை தரம்); 80க்கு குறைவாக அல்லது சமமாக (செமிகண்டக்டர் கிரேடு)
	துகள் அளவு (μm)	4-12 (நுண்ணிய தானியம்); 12–20 (நடுத்தர தானியம்)
இயந்திர செயல்திறன்	நெகிழ்வு வலிமை (MPa)	35–60
	அமுக்க வலிமை (MPa)	70–110
	கரை கடினத்தன்மை (HS)	50–75
	மீள் மாடுலஸ் (GPa)	8–12
வெப்ப செயல்திறன்	வெப்ப கடத்துத்திறன் (W/m·K)	100–180 (அறை வெப்பநிலை)
	வெப்ப விரிவாக்க குணகம் (10⁻⁶/ டிகிரி)	2.8–3.2 (25–800 டிகிரி)
	அதிகபட்ச இயக்க வெப்பநிலை (பட்டம்)	1800-2200 (இன்டர்ட் அட்மாஸ்பியர்); 450–600 (காற்று சூழல்)
	வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு (பட்டம்)	500க்கு அதிகமாகவோ அல்லது சமமாகவோ (வெப்பநிலை வேறுபாடு)
மின் செயல்திறன்	வால்யூம் ரெசிஸ்டிவிட்டி (μΩ·m)	7–12
மின் செயல்திறன்	மின்கடத்தா வலிமை (kV/mm)	10 ஐ விட பெரியது அல்லது சமம்
இயந்திர துல்லியம்	பரிமாண சகிப்புத்தன்மை - நீளம்/அகலம் (மிமீ)	± 0.05 (ஸ்டாண்டர்ட் கிரேடு); ±0.01 (துல்லியமான தரம்)
	பரிமாண சகிப்புத்தன்மை - தடிமன் (மிமீ)	± 0.02 (ஸ்டாண்டர்ட் கிரேடு); ±0.005 (ஆப்டிகல் கிரேடு)
	தட்டையானது (மிமீ/மீ)	0.05 ஐ விட குறைவாக அல்லது சமமாக
	மேற்பரப்பு கடினத்தன்மை (Ra, μm)	0.2–0.8
சுற்றுச்சூழல் எதிர்ப்பு	அமில அரிப்பு வெகுஜன இழப்பு (%)	0.3க்கு குறைவாக அல்லது சமமாக (pH 1–3, 1000h)
	ஆல்காலி அரிப்பு நிறை இழப்பு (%)	0.5 (pH 11–14, 1000h) க்கு குறைவாகவோ அல்லது சமமாகவோ
	ஆக்சிஜனேற்ற விகிதம் (g/m²·h)	0.01க்குக் குறைவாக அல்லது சமமாக (காற்று சூழல், 400 டிகிரி )

தயாரிப்புகள் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தனிப்பயனாக்கலை ஆதரிக்கின்றன

இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகள்

மின் கடத்துத்திறன்: கிராஃபைட் தாள்கள் விதிவிலக்கான மின் கடத்துத்திறனை வெளிப்படுத்துகின்றன, முதன்மையாக அவற்றின் நிலையான π-π அடுக்கு அமைப்பு π எலக்ட்ரான் மேகங்கள் மற்றும் கார்பன்{1}}கார்பன் கோவலன்ட் பிணைப்புகளால் உருவாகிறது. இந்த உள்ளமைவு பொருளுக்குள் திறமையான எலக்ட்ரான் போக்குவரத்தை செயல்படுத்துகிறது, இதன் விளைவாக விதிவிலக்காக 10^-6 Ω·m மின்தடை உள்ளது. இதன் விளைவாக, கிராஃபைட் ஒரு சிறந்த மின்முனை பொருளாக செயல்படுகிறது.
வெப்ப கடத்துத்திறன்: கிராஃபைட் தட்டு சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறனையும் கொண்டுள்ளது, அதன் வெப்ப கடத்துத்திறன் எஃகு, இரும்பு, ஈயம் மற்றும் பிற உலோக பொருட்களை விட அதிகமாக உள்ளது. இது அடுக்கு அமைப்பு மற்றும் கிராஃபைட் தகட்டின் அதிக வரிசைப்படுத்தப்பட்ட படிக அமைப்பு காரணமாகும், இதனால் அடுக்குகளுக்கு இடையேயான அதிர்வு மூலம் வெப்ப ஆற்றலை திறமையாக மாற்ற முடியும்.
இயந்திர பண்புகள்: கிராஃபைட் தட்டு அதிக வலிமை, அதிக நெகிழ்வுத்தன்மை மற்றும் கண்ணீர் எதிர்ப்பு ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. அதன் யங்கின் மாடுலஸ் மற்றும் மகசூல் வலிமை முறையே 1 TPa மற்றும் 130 GPa ஐ எட்டும், இது எஃகின் டஜன் மடங்கு அதிகமாகும். இந்த அதிக வலிமையானது கிராஃபைட் தட்டு உயர் அழுத்தம் மற்றும் அதிக வெப்பநிலை சூழலில் சிறந்த நிலைப்புத்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது.
இரசாயன நிலைத்தன்மை: கிராஃபைட் தட்டின் கார்பன்{0}}கார்பன் பிணைப்பு அதிக பிணைப்பு ஆற்றலையும் குறைந்த இரசாயன வினைத்திறனையும் கொண்டுள்ளது, மேலும் இது பெரும்பாலான இரசாயனங்களுக்கு அதிக எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது. ஒரு சில அமிலங்கள் மற்றும் காரங்கள் மட்டுமே அதை சிதைக்க முடியும், எனவே கிராஃபைட் தட்டு இரசாயன உலை மற்றும் வினையூக்கி கேரியரில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

துல்லியமான-இயந்திர கிராஃபைட் தகடு அதன் உயர் துல்லியம், தீவிர சுற்றுச்சூழல் எதிர்ப்பு மற்றும் வலுவான தனிப்பயனாக்கம் ஆகியவற்றின் காரணமாக உயர்நிலை உற்பத்திக்கு ஒரு தவிர்க்க முடியாத பொருளாக மாறியுள்ளது. சிறந்த செயல்திறனை உறுதி செய்வதற்காக, கிராஃபைட்டைத் தேர்ந்தெடுக்கும்போது கிராஃபைட் தூய்மை, துகள் அளவு, செயலாக்க முறை மற்றும் மேற்பரப்பு சிகிச்சை ஆகியவை விரிவாகக் கருதப்பட வேண்டும்.